ASML前员工窃密案细节：为了4万欧元 帮助俄罗斯建立28nm晶圆厂

2024年12月，一位ASML前员工（A先生）因涉嫌窃取ASML和恩智浦的商业机密而被荷兰政府拘留，荷兰移民局还对其实施了20 年的入境禁令，引发了外界关注。近日荷兰媒体NRC针对该案件披露了更多的细节，并表示该窃密之举是为了协助俄罗斯在本土建造一座 28nm 晶圆厂。

众所周知，ASML 是全球最大的光刻机制造商，同时也是全球唯一的EUV光刻机供应商，全球所有的5nm及以下的芯片都依赖于ASML的EUV光刻机来制造。

除了ASML之外，目前仅有日本的尼康和佳能、中国的上海微电子装备拥有光刻机的制造能力，但是他们在技术上与ASML之间存在巨大的代差。

荷兰芯片厂商恩智浦则是全球领先的汽车及工业芯片制造商。

因此，ASML和恩智浦相关核心技术也被荷兰政府看作是关乎国家利益的重要资产，需要严防被外国窃密。

根据荷兰媒体NRC的最新报道显示，当地时间周四，针对该A先生的诉讼案件在荷兰鹿特丹开庭，检方指控他涉嫌窃取ASML和恩智浦的商业机密，并传播生产芯片和芯片制造设备的手册。此举被认为是有助于被美西方制裁的俄罗斯在当地建立一座新的芯片工厂。A先生则希望从中赚取额外的收入。

NRC 采访的相关专家称，尽管A先生窃取的资料被标记为机密，但实际上很多却是相当通用和广泛的信息。

根据起诉书还显示，A先生自2024年8月以来就因涉嫌挪用公款和违反制裁法而被审前拘留。

他甚至在 2022 年俄乌冲突爆发之前就已经在收集信息，后来他通过U盘、应用程序和共享的Google Drive网盘与俄罗斯的一名同伙分享这些信息。在与俄罗斯情报机构 SVR 联系后，他在莫斯科交出一个装有机密文件的U盘，并收到了大约40000欧元的资金。

据介绍，A先生交易的机密信息当中，包括了105份来自 ASML 的文件、88份与台积电相关的文件，此外还有GlobalFoundries（格罗方德）和恩智浦的相关文件。

通过在Mapper工作进入ASML

这位被指控涉嫌窃取ASML和恩智浦机密的前员工，是一名 43 岁的工程师，其曾在俄罗斯大学接受教育，并在俄罗斯科技公司工作。

2008 年和 2009 年间，他先是去了比利时研究机构 imec 实习，然后又去了希腊研究机构 NCSR 工作，还曾在美国芯片制造商 GlobalFoundries 位于德累斯顿工厂工作。

2015年，A先生开始为总部位于荷兰代尔夫特的Mapper Lithography公司工作，这是一家开发电子束光刻工具的公司。

但是由于缺乏资金和足够的订单支持，2018 年底 Mapper 公司无奈破产。

美国国防部为防止敏感技术落入俄罗斯或中国企业手中，对荷兰政府进行施压，随后荷兰政府要求ASML 收购了 Mapper 公司及其专利，100多名Mapper员工也被并入了ASML，这其中就有包括该间谍工程师在内的十多名俄罗斯员工。

此后，该间谍工程师开始为ASML的应用部门工作。ASML则将 Mapper 的电子束技术用于计量和芯片检查。

需要指出的是，Mapper公司早在2012年，曾获得了一位主要的俄罗斯投资者 Rusnano的投资。

作为这笔注资的交换，Mapper 在莫斯科建造了一家工厂，主要生产 MEMS（微机电系统）——带有引导电子束的小透镜的芯片，后来该工厂成为了隶属于俄罗斯军用无人机制造商 Astron的资产。

拥有四项ASML专利

根据 NRC 与认识A先生的人的对话显示，他的前同事形容他是隐形的，一个孤独的人，有着某种奇特的交流方式。

但没有人怀疑他会窃取信息。

在ASML工作期间，A先生的职业生涯曾陷入了停滞，因为ASML决定将他负责的零部件生产工作外包出去，而ASML也不认为他是管理供应商的合适人选。

虽然他试图拓宽自己，但缺乏必要的理论知识，最终ASML决定在 2021 年之后不再与其续约。

虽然A先生不是一个雄心勃勃的人，但他的名字出现在 ASML 的四项专利中，其中最后一项于上个月公布。

这怎么可能呢？由于专利是在多个国家/地区提交的，因此在首次申请和在其他国家/地区申请之间有很多时间间隔。

窃取机密

离开 ASML 后，A先生开始通过借调机构寻找新工作。他表示他想做更多的研究——希望在芯片技术领域的阶梯上更上一层楼，但这并没有成功。

在2022 年 1 月新冠疫情期间，他开始在奈梅亨的 NXP 担任受雇流程员工。

在介绍性会议期间，他给人的印象是一个敬业但内向的技术人员，难以沟通。（他）棱角分明，啰嗦。认识他的人说。

在恩智浦雇用该A先生的那一年，他与同事几乎没有联系。

2022 年 5 月，他向奈梅亨的一家公司询问 ASM International 的二手化学气相沉积设备的报价。

最初，这些设备应该运往德国，但后来他将目的地改为以色列。该物品从未交付。

现在，这被视为为俄罗斯新设施收集设备和零件的尝试。

根据A先生前妻的一份声明显示，他于 2023 年底与俄罗斯科学家接触，以助力俄罗斯在本土建立新的芯片工厂，目的是在那里制造 28nm 芯片。

2023年，该A先生与代尔夫特理工大学应用科学学院签订了一份为期一年的合同。他在那里也过着与世隔绝的生活，但研究并未表明他从代尔夫特理工大学窃取了文件。

然而，A先生的U盘确实包含来自全球最大的晶圆代工企业台积电和美国晶圆代工企业 GlobalFoundries（格罗方德）的相关文件。

以台积电为例，A. 的U盘中有 88 个不同的文件与台积电相关，但具体是哪些，目前尚不清楚。

恩智浦是台积电的客户，ASML 也为台积电供应光刻机。

没有光刻机设计图

2024 年 8 月 28 日，A先生 在 AIVD 情报局的官方报告后被捕。2024 年 10 月，ASML 和 恩智浦 的法务部门收到消息，称A先生涉嫌间谍罪。两家公司都在配合警方的调查，并对这名前雇员进行了举报。

据恩智浦的专家称，大多数商业秘密都属于技术援助类别。在A先生的电脑和手机上还发现了 105 份来自 ASML 的文件。其中一些是机密信息的演示，但它们并不是构建光刻机的蓝图，更不是整个芯片工厂的蓝图。

A先生的前同事并不认为他是一个精明的间谍大师，因为他为了并不多的现金就放弃了他略有些困难的职业生涯。

据内部人士称，A先生通过出售情报，从一家俄罗斯公司或俄罗斯情报机构获得了大约 40000 欧元。

ASML 和 恩智浦以前是间谍活动的受害者。ASML 不断受到黑客的攻击，必须保护自己免受内部盗窃。

近年来，ASML和恩智浦都加强了其内部网络的安全性。不同部门之间存在数字墙，因此员工只能查看有限数量的数据，并且内部监控系统会记录可疑行为。

然而该系统的日志文件显示，在 2020 年 12 月 16 日和 17 日，A先生下载了他工作根本不需要的文件。然而，当时系统没有发出警报。

从以往违反制裁法的刑事案件来看，A先生有可能被判处 18 至 32 个月的监禁。

检察院希望通过此案树立一个榜样：荷兰经济高度依赖高科技公司，这些知识产线必须得到保护。