2025年10月15日,全球半导体行业目光聚焦深圳湾芯展。就在展会开幕当天,台积电首席执行官魏哲家在三季度财报电话会议上首次公开回应与深圳新凯来的技术合作传闻,证实已启动对其薄膜沉积设备的技术评估。这一表态犹如巨石投入平静湖面,迅速引发产业链震动——ASML股价当日应声下跌4.7%,而新凯来展台前的人流排起百米长队,参观者争相目睹这款被业内称为”国产光刻机希望”的DUV设备。
技术突围:从实验室到产线的跨越
在上海SEMICON China展会上,新凯来展台的”名山系列”设备曾引发国际巨头高管集体驻足。其中”阿里山”原子层沉积设备的参数牌前始终围着三层观众:0.1nm膜厚控制精度、92%良率、国产化率95%,这些数字意味着中国半导体设备首次在5nm制程领域具备实战能力。据新凯来工艺装备产品线总裁杜立军现场披露,该设备已通过长江存储3D NAND产线验证,填孔缺陷率比应用材料同类产品低30%。
更具冲击力的是”武夷山”刻蚀机的表现。在中芯国际14nm产线验证中,其刻蚀速度较泛林集团设备提升20%,晶圆单位成本降低30%。”我们采用五边形全对称腔室设计,将均匀性误差控制在1nm以内。”新凯来技术总监在展会上透露,该设备已获得华虹半导体28nm产线的批量订单,2025年相关收入预计突破15亿元。
这种技术突破背后是独特的”华为基因+国资赋能”模式。作为脱胎于华为2012实验室的团队,新凯来核心成员平均拥有15年以上设备研发经验,2022年深圳国资委注资15亿元后,研发投入强度始终维持在营收的30%以上。截至2025年6月,公司累计申请专利237项,其中52%涉及原子层沉积等”卡脖子”技术。
台积电的”谨慎开放”与产业链重构
魏哲家在财报会上的表态暗藏深意:”我们对所有具备创新能力的供应商保持开放态度,但技术验证需要严格遵循质量标准。”这番话被业内解读为对新凯来的有限认可。据供应链消息,台积电南京厂已秘密导入新凯来的”普陀山”PVD设备进行测试,主要用于16nm逻辑芯片的金属布线环节。
这种合作试探反映了全球产业链的微妙变化。一方面,台积电亚利桑那工厂面临设备交付延迟困境,美国应用材料的PVD设备交期已从16周拉长至52周;另一方面,新凯来设备3-8个月的交付周期和30%的价格优势形成明显吸引力。”如果验证通过,我们可能将成熟制程的设备采购比例提高至20%。”某晶圆厂高管私下透露。
国际巨头的反应更为直接。东京电子在新凯来发布刻蚀机后,迅速将中国区同类产品价格下调22%;ASML则加快DUV设备售后服务响应速度,将故障处理周期从72小时压缩至48小时。”这是典型的’用市场换时间’策略,但国产设备的进步速度超出预期。”半导体行业分析师莫大康在最新报告中指出。
国产替代:从单点突破到生态协同
在深圳龙岗新凯来总部,一幅动态更新的供应链地图揭示了国产替代的真实图景:2063个核心零部件中,2059个实现国产化,仅剩4个光学元件依赖进口。”我们建立了10多个基础实验室,从等离子体控制到流体力学进行全链条攻关。”公司研发副总裁表示,其与长春光机所联合开发的深紫外物镜,表面粗糙度已达到0.3nm RMS,接近蔡司水平。
这种突破正在产生涟漪效应。新莱应材为新凯来定制的真空阀门通过200万次耐久测试,性能超越瑞士VAT产品;至纯科技的湿法清洗设备良率控制精度达99.999%,创下国产设备新纪录。据统计,新凯来已带动上下游87家企业技术升级,形成完整的半导体设备生态集群。
在湾芯展现场,新凯来子公司启云方发布的EDA软件引发另一波热潮。这款支持5nm制程的设计工具,将硬件开发周期缩短40%,直接对标Synopsys的Design Compiler。”当设备、材料、软件形成协同,国产替代就进入了新阶段。”中国半导体行业协会副理事长徐小田评价道。
未来棋局:技术路线与地缘博弈
新凯来的异军突起正值全球半导体产业格局重构的关键期。美国《芯片法案》实施后,全球设备市场呈现”东西方双循环”趋势。ASML预测2026年中国区销售额将下降24%,而新凯来计划将产能从200台/年扩至500台/年,以填补市场空白。
技术路线选择上的博弈更趋激烈。新凯来采用的SAQP多重曝光技术,通过四次曝光实现5nm制程,良率较传统方案提升16个百分点。这种绕开EUV的策略,与台积电N2工艺形成有趣对比。”我们不追求单点技术最领先,而是提供可落地的整体解决方案。”新凯来董事长戴军强调。
地缘政治的影响同样不容忽视。荷兰政府近期冻结中资半导体资产147亿元,而中国对镓、锗的出口管制已使ASML的EUV光源生产成本上升18%。在这种背景下,新凯来的国产化率指标被赋予特殊意义——设备核心零部件100%自主可控,意味着”卡脖子”风险大幅降低。
站在深圳湾芯展的新凯来展台前,一块实时更新的全球订单地图正在改写:红色标记已覆盖中芯国际、长江存储等国内龙头,并开始向东南亚、欧洲延伸。当被问及是否担心国际竞争时,现场工程师指着墙上的标语笑着说:”我们的征途是星辰大海——这不是口号,是刻在每台设备里的代码。”
夜幕降临,展会灯光渐次熄灭,但新凯来实验室的灯火依然通明。那里,一群平均年龄32岁的工程师正在调试下一代EUV光源,目标是2028年实现13.5nm波长突破。而在地球另一端,台积电亚利桑那工厂的技术人员正连夜评估新凯来设备的测试数据。这场跨越太平洋的技术对话,或许正在悄然改写半导体产业的权力格局。
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